產品簡介

沈陽科儀高真空電子東蒸發薄膜沉積系統--EB700

真空室結構: U形前開門

真空室尺寸:700x700x900mm

極限真空度:≤6.6E-5Pa

沉積源:6個40cc坩堝

樣品尺寸，溫度:4英寸，26片，最高300℃C

占地面積(長x寬x高):約3.2米x3.9米x2.1米

工藝:片內膜厚均勻性:≤3%

特色參數: 工件架有拱形基片架和行星形基片架:可根據用戶基片尺

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