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          當前位置:首頁產品中心材料科學檢測設備沈陽科學儀器SMART磁控濺射薄膜沉積系統
          磁控濺射薄膜沉積系統

          產品簡介

          產品概述:
          本沉積系統可用于制備光學薄膜、電學薄膜、磁性薄膜、硬質保護薄膜和裝飾薄膜等,工藝性能穩定、模塊化結構,采用行業使用的軟件控制系統。

          產品型號:SMART
          更新時間:2026-01-19
          廠商性質:經銷商
          訪問量:71
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          產品概述:
          本沉積系統可用于制備光學薄膜、電學薄膜、磁性薄膜、硬質保護薄膜和裝飾薄膜等,工藝性能穩定、模塊化結構,采用行業使用的軟件控制系統。

          設備用途:
          用于納米級單層及多層功能膜、硬質膜、金屬膜、半導體膜、介質膜等新型薄膜材料的制備。可廣泛應用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研項目。

          產品參數:

          真空室結構:六邊形側開門

          真空室尺寸:φ350x370mm

          極限真空度:≤6.0E-4Pa

          沉積源:永磁靶1套,φ2英寸

          樣品尺寸,溫度:φ2英寸,1片,最高800℃

          占地面積(長x寬x高):約1米x1米x1.9米

          電控描述:手動

          工藝:片內膜厚均勻性:≤±3%


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